陶瓷面板設備零件

抗磨損 Wear Plate、大型陶瓷支撐架與砲管製造

在 LCD、OLED 與 Micro LED 的面板製程中，隨著世代線 (Generation) 越來越大，設備零件面臨嚴峻考驗。

「怕刮傷玻璃」與「零件不耐磨產生粉塵」是影響良率的兩大殺手。晟鼎工業提供大尺寸、高平整度的精密陶瓷零件，解決傳統金屬或工程塑膠在大型搬運設備上的磨損與變形問題。

為什麼面板設備需要升級精密陶瓷？

與半導體不同，面板產業處理的是巨大且沉重的玻璃基板。選擇陶瓷材料（氧化鋁、氧化鋯、氮化矽）有三大理由：

1. 解決磨損與粉塵問題

傳送軌道上的接觸板 (Wear Plate) 若使用金屬或塑膠，長期摩擦會產生微粒 (Particle)，造成面板短路或缺陷。

2. 高剛性，大尺寸也不變形

在 G6 到 G10.5 代廠中，支撐零件往往長達 1-2 公尺。金屬在高溫下容易軟化下垂。

3. 耐電漿與絕緣

在 CVD 成膜與 Etching 蝕刻製程中，腔體內部零件需承受電漿轟擊。

我們針對面板廠的搬運段與製程段，提供以下客製化產品：

陶瓷耐磨板 (Wear Plate / Wear Pad)
- 用途：安裝於 Robot 手臂或傳送軌道上，直接接觸並支撐玻璃基板滑動。
- 加工重點：需具備極低的摩擦係數與高平面度。晟鼎能製作長條形或異形的 Wear Plate，並進行導角處理，防止刮傷玻璃。

陶瓷支撐架 (Ceramic Support Bar / Beam)
- 用途：用於製程腔體內支撐大面積玻璃。
- 加工重點：針對 1000mm 以上的長型工件，我們能控制其直線度，確保高溫下不變形。
- 加工實績 (例圖)

陶瓷砲管 / 滾輪 (Ceramic Tube / Roller)
- 用途：爐管內的傳動軸或支撐管。
- 加工重點：提供中空輕量化設計，同時具備耐高溫與高轉速下的動態平衡。
- 加工實績 (例圖)

陶瓷蓋板與保護盤 (Ceramic Cover Plate & CAP)
- 用途：保護腔體內部的感測器、螺絲孔或加熱器免受電漿攻擊。
- 特點：使用高純度氧化鋁，不僅絕緣，且壽命是陽極處理鋁件的數倍。

陶瓷螺絲 (Ceramic Screw)
- 用途：腔體內部的鎖固。
- 特點：防止金屬螺絲在高溫製程中與其他金屬零件發生「冷焊」或「卡死」現象。

面板零件通常比半導體零件大很多，這是一般小型加工廠做不到的。

Q：原本是用 PEEK (塑膠) 的 Wear Plate，換成陶瓷會不會刮傷玻璃？

A：不會，反而更安全。雖然陶瓷很硬，但我們透過「鏡面拋光」與「R角處理」，讓接觸面極度光滑。相比 PEEK 容易卡入異物變成砂紙刮傷玻璃，陶瓷表面不易嵌入異物，反而更能保護玻璃。

Q：你們能做多長的陶瓷支撐架？

A：我們具備大型長工件的加工能力，一般可達 1000mm~1500mm (視形狀截面而定)。歡迎提供圖面進行評估。

Q：陶瓷會有靜電問題嗎？

A：標準氧化鋁是絕緣體。如果您的製程有 ESD (靜電放電) 顧慮，我們可以選用 ESD 陶瓷或特定材質，讓電荷能適度導出，避免靜電吸附灰塵或擊穿面板線路。

「還在為了更換磨損的塑膠軌道而停機嗎？」

升級精密陶瓷，讓您的面板產線運作更穩定、更潔淨。準備好 CAD 圖檔，立即與我們聯繫，晟鼎工程團隊將為您評估大型零件的加工方案。