半導體陶瓷零件是半導體製程中不可或缺的關鍵材料,且在製程中被廣泛使用。其應用貫穿晶圓處理、真空腔室、等離子製程、晶圓搬運系統等環節。
精密陶瓷材料具備極佳的耐熱性與電氣絕緣性,更能有效抵抗化學腐蝕與等離子侵蝕,是確保先進製程穩定與良率提升的核心要素。
半導體產業中常用的精密陶瓷零件有:
半導體陶瓷零件在極端環境中仍能穩定運作,有效確保製程的精確性與生產效率。
其特性包括:
因此,精密陶瓷已成為高階製程設備不可取代的核心材料之一,是半導體製程技術不斷突破的重要後盾。
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[ 這些產業對精密陶瓷的需求持續增長,因為其高硬度、耐磨損、耐高溫與低熱膨脹特性,能有效提升設備效能與壽命。]