品質 / Quality
精密儀器，品質檢驗
解決高速搬運抖動、高剛性晶圓傳送牙叉製造
在晶圓或面板的自動化傳送中，您是否正面臨「金屬手臂高速急停產生殘餘震動」或「高溫導致手臂熱變形」的困擾？
晟鼎工業提供高剛性、輕量化的精密陶瓷手臂，利用陶瓷優越的物理特性，徹底解決金屬材質在高速與高溫環境下的定位誤差問題。
相較於鋁合金或不鏽鋼，精密陶瓷（特別是高純度氧化鋁與碳化矽）在機械手臂應用上具備三大不可替代的優勢：
陶瓷的楊氏係數是鋁合金的 3-5 倍。這意味著在同樣的厚度下，陶瓷手臂極難彎曲變形。
陶瓷的比重雖比鋁略重，但因剛性極高，可以設計得「更薄、更細」卻依然維持強度。
在 300°C 以上的高溫製程腔體中，金屬會有明顯的熱膨脹。
製造陶瓷手臂最困難的不是外觀，而是「功能性結構」。晟鼎具備以下高階加工技術：
這兩種是手臂最常用的材質，該怎麼選？
| 比較項目 | 高純度氧化鋁 (99.5% Al₂O₃) | 碳化矽 (SiC) |
|---|---|---|
| 剛性 (楊氏係數) | 優 (370 GPa) | 極優 (410 GPa) |
| 重量 (密度) | 3.9 g/cm³ | 3.1 g/cm³ (較輕) |
| 價格成本 | 較經濟 | 較昂貴 |
| 主要應用場景 | 一般晶圓搬運、大氣環境 | 極高速搬運、高溫製程、大型面板 |
專家建議：
Q：我的金屬手臂圖面可以直接改成陶瓷做嗎？
A：大部份可以，但陶瓷是脆性材料，結構轉角處需要設計倒圓角 (R角) 以避免應力集中斷裂。請提供您的金屬件圖面，我們的工程師會協助進行「陶瓷化」的設計微調建議。
Q：你們能做多大的陶瓷手臂？
A：我們具備大型燒結爐與長行程研磨機，可製作長度達 1000mm 以上的陶瓷手臂，適用於 12 吋晶圓甚至面板產線。
Q：如果不小心撞機，陶瓷會修復嗎？
A：陶瓷硬度極高，一旦撞擊斷裂通常無法修復，必須更換。但我們會透過機構設計優化（如應力分析）來提升其耐用度。我們建議客戶備有安全庫存品。
「想提升設備產能 (UPH)？先解決手臂的抖動問題。」
無論您是需要原廠零件的替代品，還是想將現有的金屬手臂升級為陶瓷。請準備好您的 CAD 圖檔，聯絡晟鼎，我們將為您評估最適合的材質與結構。