陶瓷圓環

半導體 Focus Ring、機械軸封與耐磨環客製化

圓環類零件看似構造簡單，但要達到「極致的真圓度 (Roundness)」與「同心度 (Concentricity)」卻極具挑戰。

晟鼎工業專注於加工高硬度、耐磨損的精密陶瓷圓環。無論是半導體腔體內的聚焦環，還是高速運轉機械的密封環，我們都能確保尺寸公差精準，解決傳統材質不耐酸鹼與易磨損的問題。

應用一：半導體製程用環

在蝕刻 (Etching) 與薄膜 (Deposition) 製程中，陶瓷環扮演控制電漿分佈與保護晶圓邊緣的關鍵角色。我們提供原廠零件的替代品 (Second Source) 製造服務。

功能：置於晶圓周圍，用來修正電漿 (Plasma) 的方向，確保晶圓邊緣的蝕刻速率均勻。
常見痛點：傳統材質（如石英）被電漿轟擊後消耗過快，導致需頻繁停機更換，影響產能。
晟鼎解決方案：我們可加工碳化矽 (SiC) 或高純度氧化鋁材質的 Focus Ring。這些材質耐電漿侵蝕能力強，壽命是傳統材質的數倍，能顯著降低您的更換成本 (CoC)。

針對幫浦、馬達、攪拌機等旋轉設備，精密陶瓷是解決「磨損漏油」與「高溫卡死」的最佳升級材料。

為何要用陶瓷？ 金屬密封環在高速摩擦下容易發熱磨損，導致流體洩漏。
材料選擇：
- 碳化矽 (SiC)：硬度最高、散熱最快，適合高轉速、高摩擦的嚴苛環境。
- 氧化鋁 (Al₂O₃)：性價比高，適合一般酸鹼液體的密封。
加工能力：晟鼎能將密封端面 (Seal Face) 進行鏡面研磨 (Lapping)，確保氣密性滴水不漏。

為何要用陶瓷？ 在無潤滑油或高溫環境下，金屬軸承會燒結卡死。
材料選擇：
- 氮化矽 (Si₃N₄)：韌性最好，最適合做軸承滾珠或滾柱。
- 氧化鋯 (ZrO₂)：表面光滑自潤滑性佳，適合做滑動軸承套。

圓環類產品最怕「失圓」或「偏心」。晟鼎透過以下技術確保品質：

Q：原本是用石英 (Quartz) 的 Focus Ring，可以改成陶瓷的嗎？

A：可以。許多客戶將石英升級為碳化矽 (SiC) 或氧化鋁，雖然單價較高，但壽命大幅延長，減少了停機換料的時間，長遠來看更划算。

Q：陶瓷密封環需要加潤滑油嗎？

A：陶瓷本身具備良好的自潤滑性與低摩擦係數，在某些應用中可實現「無油運轉」，避免潤滑油汙染製程（特別適合食品或醫藥設備）。

Q：你們能做多大尺寸的陶瓷環？

A：我們具備大型車床與磨床，可加工直徑從 5mm 到 600mm 以上的陶瓷環。

「密封處總是洩漏？或是蝕刻環消耗太快？」

從單件破損更換到批量生產，晟鼎工業提供最精密的圓環加工服務。請提供 CAD 圖檔 (DWG/STP)，立即聯絡晟鼎，我們將為您評估加工公差與報價。