碳化矽陶瓷加工 (SiC)

高硬度、耐高溫與耐化學腐蝕零件製造

碳化矽 (Silicon Carbide) 是一種高性能陶瓷，結合了極高的硬度 (莫氏 9.5)、優異的導熱性以及耐高溫特性。它在強酸、強鹼及高溫氧化環境中表現極其穩定，廣泛應用於半導體製程、化工機械及嚴苛的磨耗環境。

材質選用：SSiC vs. CVD SiC

晟鼎提供兩種不同製程的碳化矽，以對應不同的應用需求：

許多工廠只能做簡單的碳化矽圓環，我們能做更多：

當工況涉及強酸、電漿、極高溫或超高磨耗時，碳化矽是唯一的選擇：

半導體蝕刻製程 (Etching)：
- Focus Ring (聚焦環)：CVD SiC 是目前高階製程的標配，耐電漿轟擊，壽命遠勝石英與矽。
- 晶圓載具 (Wafer Boat)：在擴散爐中承受 1000°C 以上高溫，不易彎曲變形。
流體機械與密封：
- 機械軸封 (Mechanical Seal)：用於化工泵浦，能抵抗強酸強鹼腐蝕，且硬度高，長期運轉不洩漏。
光學與雷射設備：
- 雷射反射鏡：利用其高剛性與熱穩定性，確保雷射光路精準，不受溫度影響。
高溫熱處理：
- 燃燒噴嘴與爐管：長期在火燄中也不會氧化剝落。

(註: 陶瓷材料之理論特性僅供參考，實際數值可能因製程、批次或使用環境而有所差異。)

「看數據還是拿捏不準？讓樣品說話。」

材料特性表只是參考，實際工況往往更複雜。晟鼎工業提供材料諮詢與打樣服務。請告訴我們您的「工作溫度」、「接觸化學物質」與「受力情形」，我們的工程師幫您挑選最適合的材質。