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陶瓷產品

半導體設備陶瓷零件

耐酸鹼噴嘴、絕緣礙子與離子植入耗材加工

在半導體的前段與後段製程中，除了大型的搬運與腔體元件外，成千上萬個細小的絕緣件、固定件與流體控制元件同樣決定了設備的穩定性。晟鼎工業專注於提供高純度、高精度的半導體通用陶瓷耗材，解決傳統金屬或塑膠零件不耐腐蝕、易老化的問題。

為什麼半導體耗材需要升級為精密陶瓷？

在濕製程 (Wet Process) 的強酸強鹼清洗，以及乾製程 (Dry Process) 的高溫環境下，一般材料容易發生微粒剝落或介電崩潰。使用晟鼎的精密陶瓷（氧化鋁、氮化矽、碳化矽）具備以下關鍵優勢：

  1. 極致絕緣：防止高壓環境下的電弧擊穿與漏電。
  2. 化學惰性：在氫氟酸 (HF) 等強腐蝕環境下，依然保持結構完整。
  3. 耐磨耗：高硬度特性減少更換頻率，降低設備維護成本 (CoO)。

我們供應的半導體通用零件

針對不屬於大型腔體或搬運系統的精密零組件，我們提供依圖客製化加工：

1. 陶瓷噴嘴 (Ceramic Nozzle)

  • 應用：用於清洗機台的藥液噴灑、或噴砂設備的噴嘴。
  • 特點：內孔流道經精密拋光，流體噴射穩定；極高的耐磨性確保孔徑長時間不變形，維持製程參數穩定。
  • 加工實績 (例圖)

2. 陶瓷螺絲與螺帽 (Ceramic Screw / Bolt / Nut)

  • 應用：用於酸鹼槽體內部或高溫爐內的組裝固定。
  • 特點：完全解決金屬螺絲生鏽卡死的問題。我們提供標準規格（M2-M12）或特殊規格的牙型研磨加工。

3. 電氣絕緣零件 (Insulator & Isolator)

  • 應用：腔體內部的絕緣柱、絕緣墊片、電極隔離座。
  • 特點：使用高純度氧化鋁 (99.5% Al₂O₃)，具備高介電強度與低介電損耗，確保製程電場穩定。

4. 離子植入零件 (Implanter Parts)

  • 應用：離子植入機內部的擋板、襯套與絕緣件。
  • 特點：需承受高能量離子束轟擊。我們推薦使用高純度材質，減少離子汙染並延長耗材壽命。

5. 陶瓷頂針 (Lift Pin)

  • 應用：製程中將晶圓頂升或傳遞的接觸件。
  • 特點：頂端圓弧經鏡面拋光 (Ra < 0.01µm)，防止刮傷晶圓背面；耐高溫特性確保在熱製程中不軟化變形。
  • 加工實績 (例圖)

常見問題 (FAQ)

Q：陶瓷螺絲可以完全取代金屬螺絲嗎？

A：在耐腐蝕與絕緣層面可以完全取代，但陶瓷缺乏延展性，鎖附時需注意扭力控制。我們會提供建議的扭力值，或搭配軟性墊片使用。

Q：離子植入零件建議用什麼材質？

A：通常建議使用高純度氧化鋁或特定導電陶瓷，視您的植入機型與製程條件而定，歡迎提供舊品或圖面進行材質分析。

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