半導體陶瓷零件是以精密陶瓷材料（如氧化鋁 Al₂O₃、氮化矽 Si₃N₄、碳化矽 SiC、氧化鋯 ZrO₂ 等）製作而成的功能性零件。具備高硬度、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕以及優良絕緣性的特點。因此廣泛應用於半導體製程中。
透過專業加工，半導體陶瓷零件能在嚴苛環境中保持穩定與精準，成為高科技產業中不可或缺的重要材料。
陶瓷噴嘴（Ceramic Nozzle）、陶瓷螺栓 / 絕緣件（Ceramic Bolt / Insulator）、陶瓷手臂、氧化鋁陶瓷環、氧化鋁陶瓷牙叉、氧化鋁陶瓷螺絲、離子植入（Implanter）陶瓷零件等。
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