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材質：氣孔陶瓷、多孔陶瓷 (Porous Ceramic) 。
特性：耐磨耗、不易發塵、絕緣性高。
應用範圍：
主要用於研磨或切割半導體晶圓的吸盤。通常應用於細化、切割、清洗及運送等程序。
產品名稱：氣孔陶瓷、真空吸盤、CHUCK TABLE。尺寸：6”~12” 。
客製化，依客戶需求，製作不同尺寸及形狀的吸盤。
